2024年1月10日发(作者：)
文件-OM00101-A
使用说明书
机 种 名 称
小型真空单元 真空发生器/真空泵系统
系 列
ZB系列
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文件-OM00101-A
目录
安全注意事项
型号表示・型号体系
产品各部分名称
安装・设置
空气源
使用供给压力
配管
V通口Ass’y品的使用
关于电磁阀
构造图・零件构成
维护・保养
滤芯更换要领
吸音材更换要领
电磁阀（供给阀・破坏阀）更换要领
关于集装式产品
关于过滤罩
关于破坏流量调整针阀
关于真空发生器的排气
规格
回路图
重量
真空发生器的排气特性・流量特性
真空泵系统流量特性
关于流量特性表
关于压力传感器Ass’y品
关于真空用压力开关Ass’y品
故障一览表
2
9
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13
15
16
16
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28
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30
30
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31
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40
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42
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安全注意事项
此处所示的注意事项是为了能安全正确的使用本产品，预先防止对您和他人造成危害或损失而定。
为了表示这些事项的危险程度，将注意事项分成「注意」「警告」和「危险」三个等级。不论哪个等级，※1都是与安全相关的重要内容，除了必须遵守国际规格(ISO/IEC)、日本工业规格(JIS))以及其他安全规则※2以外，这些内容也请务必遵守。
*1) ISO 4414: Pneumatic fluid power -- General rules relating to systems.
ISO 4413: Hydraulic fluid power -- General rules relating to systems.
IEC 60204-1: Safety of machinery --Electrical equipment of machines. (Part1: General requirements)
ISO 10218-1992: Manipulating industrial robots -Safety.
JIS B 8370: 空气压系统通则
JIS B 8361: 油压系统通则
JIS B 9960-1: 机械类的安全性-机械的电气装置((第1部:一般要求事项)
JIS B 8433-1993: 键控工业机器人－安全性等
*2) 劳动安全卫生法 等
注意:
误使用时，有可能对人和物品造成损害。
警告:
误使用时，有可能造成人员死亡或重伤。
危险:
紧急危险状态，如不回避有可能造成人员死亡或重伤。
警 告
①请系统的设计者或决定规格的人员来判断元件的选型是否合适｡
因本产品使用条件多样，所以应由系统设计者或决定规格的人员根据相应的分析和试验后来决定所选元件是否适合该系统。满足系统所期望的性能并保证安全是决定系统适合性的人的责任。通常应该依据最新产品样本和资料，研讨规格的全部内容，并考虑到元件可能会出现的故障情况，最终组成该系统。
②请有足够知识和经验的人使用本公司产品。
本产品一旦使用失误，很危险。
机械·装置的组装、操作和维护等，应由具有足够知识和经验的人进行｡
③在未确认安全之前，绝对不可使用机械·装置或拆卸元器件｡
1．机械·装置的点检和调整之前，必须确认被驱动物体已进行了预防落下或失控的措施。
2. 在确认已进行了上述安全措施后，切断该设备的供给电源和能源，在确保系统安全的同时，参照、理解使用元件的个别注意事项后才能拆卸产品。
3. 机械·装置再起动之前，请实施预防意外作动、误动作的对应措施。
④如果在下列条件和环境下使用时，请特别考虑安全对策，与此同时也请预先同本公司联系。
1. 在明确记录的规格外的条件和环境下使用，或在室外和阳光直射的场所使用。
2. 应用于原子能、铁路、航空、宇航、船舶、车辆、军用、医疗器械、接触食品及饮料的设备、燃烧装置、娱乐设备、紧急切断回路、压力机用离合器或制动回路、安全设备等，以及样本记载的标准规格外的用途时。
3. 对人身和财产有巨大影响，特别是有安全要求的用途。
4. 用于互锁回路时，请设置应对故障的机械式的保护机能，进行2重互锁。另外进行定期检查以确认其是否正常动作。
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注 意
①本公司产品主要面向制造业｡
现所述之本公司产品主要面向制造业且用于和平使用场所。
如在制造业以外的情况下研讨使用时，请与本公司联系，并请根据需要交换规格书、合同书。
如有疑问，烦请与最近的营业所联系。
■保证以及免责事项／适合用途的条件
本产品适用以下｢保证以及免责事项｣､｢适合用途的条件｣。
请在确认及允许以下内容的基础上，使用本公司产品
『保证以及免责事项』
①本公司产品的保证期间为，从使用开始1年内，或者从购入开始1年半内。
②保证期间内由于本公司的责任，产生明显的故障以及损伤时，将由本公司提供替代品或者进行必要的※3零件更换。
此外，现所述之保证是指单个本公司产品的保证，由于本公司产品故障引发的损害，属于保证范围以外｡
③请参考其他产品个别的保证及免责事项，在理解的基础上使用本产品。
*3) 真空吸盘不适用使用开始1年内的保证期限。
真空吸盘为消耗品，保证期间为购入后1年以内。
但是，即使在保证期间内，由于使用产生的磨损或者橡胶材质的劣化等事项不属于产品保证适用范围内。『适合用途的条件』
出口海外时，请必须遵守经济产业省规定法令(外国汇率及外国贸易法)､手续。
■图形符号说明
图形符号
图形符号的意思禁止(绝对不允许)。
具体的禁止内容在图形记号中或者图形记号附近，用图和文字指示。
强制行为(必须)。
具体的指示内容在图形记号中或者图形记号附近，用图和文字指示。
■关于操作人员
①本使用说明书是面向对使用气动元件的设备·装置进行的组装·操作·维护保养具有足够知识和经验的人 员。请确认实施组装·操作·维护保养的人员具备上述条件。
②请在充分阅读本使用说明书并理解其内容基础上实施组装·操作·维护保养。
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■安全注意事项
警 告
■请勿自行分解·改造(包括对印刷电路板的重新组装)·修理
可能会造成人员受伤或发生故障
禁止分解
■请勿在产品的规格范围外使用
请勿使用具有引火性或者对人体有影响的气体·流体。
禁止
若在规格范围外使用，可能会造成火灾·误动作·破损等。
请在确认产品规格的基础上使用。
■请勿在有可燃性气体·爆炸性气体的环境中使用
可能发生火灾·爆炸。
禁止
本系统不具备防爆构造。
■请勿在发生静电的场所中使用
会造成系统不良及故障。
禁止
■在本产品使用过程中请勿切断供给电源、压缩空气
有可能会造成工件掉落使人员受伤、系统破损。
禁止
■在互锁回路中使用的场合
·请设置由其他系统构成的(机械式保护功能等)多重互锁回路。
指示
·进行是否正常动作的检查
误动作时可能会发生事故。
■维护保养时
·请切断供给电源。
指示
·请在确认已切断供给气源、并把配管中的压缩空气排放到大气后再进行维护保养。
可能会造成人员受伤。
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注 意
■通电中请勿触摸端子、连接器。
若在通电中触摸端子和连接器，可能会造成触电、误作动、开关破损。
禁止接触
彻底试运行 ■
由于工件的吸附条件及压力开关的设定条件不同，可能会造成人员受伤、系统破损。
指示
使用前请充分验证，判断是否可以使用。
■维护保养后请进行适当的功能检查、泄露检查
当设备无法正常作动、发生泄露等异常情况时请停止运转。
当配管以外部分发生泄露时，可能是本产品有破损。
指示
请切断电源，停止流体供给。
有泄露发生时请绝对不要供给流体。
可能由于无目的误操作导致安全无法保证。
■使用注意事项
○关于真空单元的选定・使用请遵守下记内容。
●关于选定(请遵守以下关于安装、配线、使用环境、调整、使用、维护保养的内容)。
*关于产品规格等
・关于压缩空气的质量，请使用符合JIS B 8392-1的第2.4.3～2.6.3规定的流体。
否则可能造成作动不良。
使用含有冷凝水的空气时，请在过滤器前安装冷干机、冷凝水收集器，进行排水管理。
若没有进行良好的排水管理，冷凝水从二次侧流出则会造成空压机作动不良。
排水管理较困难时，推荐使用带自动排水的过滤器。
・可使用的流体为空气、惰性气体
请勿使用含有合成油(含化学药品、有机溶剂)、盐分、腐蚀性气体等作为流体。
若这些物质混入流体中，会造成真空单元破损及作动不良。
请仔细确认规格后再使用。
・请使用规定的使用压力。
否则可能会造成真空单元破损、无法正常吸附。
・请确保维护的空间。
设计时请保证维护保养时所需的空间。
・请使用规定的电压。
若使用规定以外的电压可能会造成故障、误作动。
・请勿使用超过产品最大负载的电压及电流。
可能会造成真空单元破损、寿命缩短。
・设计时请保证当发生断线或为确认动作而强制使其作动时不会发生电流逆流的现象。
发生电流逆流可能会造成误作动或产品破损。
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●关于使用
*安装
・请遵守紧固力矩。
紧固力矩超过规定范围，可能导致本体、安装螺钉、安装件等损坏。紧固力矩不足时，可能造成本体安装位置偏移及连接螺纹部松动。
・使用市场购买的开关电源时请让F.G.端子接地。
・请勿掉落、敲打、施加过度的冲击。
可能使本体内部、电磁阀及压力开关/传感器内部破损，造成误作动。
・请勿使劲拉拽导线及通过拉拽导线搬运本体。（拉伸强度为35N以内）
使用时请手持本体。
否则会造成电磁阀、压力开关/传感器破损、故障、误作动。
・请吹净配管内残留的灰尘后再与本体进行配管。
否则会造成故障、误作动。
・请勿使铁丝等进入压力传感器的压力通口。
否则会造成压力传感器破损、故障、误作动。
・流体中可能包含异物时请在一次侧安装过滤器或油雾分离器。
否则会造成故障、误作动。
*配线(包含连接器的插拔)
・请勿使劲拉拽导线。特别是与接头和配管连接时，请勿拉拽导线来搬运电磁阀及压力开关/传感器。
可能造成电磁阀及压力开关/传感器内部破损、误作动、从连接器中脱落。
・导线请勿反复弯曲、拉伸、加载重物、施加外力。
配线时反复弯曲导线及施加拉伸力会导致导线外层脱落。
导线可挪动时，请将导线固定在开关本体附近。
导线的推荐弯曲半径为导线外径的6倍或绝缘外径的33倍。以数值大的为准。
导线有伤痕时请更换导线。
・请勿错误配线。
根据误配线的内容，可能造成电磁阀及压力开关/传感器误作动，破损。
・通电中请勿进行配线作业。
可能造成电磁阀及压力开关/传感器内部破损、误作动。
・请勿与动力线及高压线使用同一配线路径。
为防止动力线、高压线发出信号的噪音、脉冲混入，请将电磁阀及压力开关/传感器的配线与动力线、高压线分开配线。(分开配管)
・请确认配线的绝缘性。
若有绝缘不良(与其它回路的混合接触，端子间的绝缘不良等)，会使过大的电压或电流施加到电磁阀及压力开关/传感器上，可能造成设备损坏。
・为确认动作而强制使其作动时，请勿使逆流电流流入。
使用回路无法保证绝缘性、逆流电流流入时，可能导致电磁阀、压力开关/传感器误作动、破损。
・为防止脉冲混入，配线请尽量短。
最长10 m以内。
并且，DC(-)线(电磁阀：黑线、压力开关/传感器：蓝线)请尽量靠近最大电源。
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*使用环境
・请勿在有腐蚀性气体、化学药品、海水、水、水蒸气环境或有这些物质附着的场所中使用。
可能发生故障、误作动。
・请勿在有油分、药品环境中使用。
在冷却液和清洗液等各种油和药品的环境中使用时，短期内就会对电磁阀、压力开关/传感器造成恶劣影响(故障、误作动、导线硬化等)。
・请勿在脉冲信号发生源的场所使用。
压力开关/传感器周边若有较大的脉冲信号发生装置(电磁式升降机，高频率感应炉，马达等)时，有可能造成压力开关/传感器内部回路元件的劣化或损坏。请考虑发生源的防干扰对策，并避免线路混合接触。
・请勿使用发生脉冲的负载。
直接驱动继电器、电磁阀等脉冲信号发生的负载时，请使用内置脉冲信号吸收元件的产品。
・本产品没有对应CE认证中的对雷电脉冲的耐性,因此请在装置中实施防雷对策。
本产品为CE认证对应产品，但是过度的脉冲可能会导致设定值发生变化。
・请将本体安装在无振动和冲击的场所。
否则会造成故障、误作动。
・请勿使配线断屑等异物进入产品内部。
否则会造成故障、误作动，因此请勿使配线断屑等异物进入产品内部。
・请勿在温度循环变化的环境中使用。
若在通常气温变化以外的温度变化下使用可能对本体造成恶劣影响。
・请勿在阳光直射的场所中使用。
在阳光直射场所中使用时请作好防晒措施。
否则会造成故障、误作动。
・使用时请保证使用流体温度、环境温度在规格范围内。
使用流体温度、环境温度规定范围为5～50 ℃。在低温状态下使用时，空气中水分的冻结可能会导致产品破损、误作动。
请采取措施防止冻结。推荐安装可除去冷凝水、水分的冷干机。
并且，即使在规定温度下使用也要避免温度急剧变化。
・请勿在周围有热源，受到热量辐射的场所中使用。
否则会造成作动不良。
*调整・使用
・请连接负载后再接通电源。
在未连接负载的状态下ON时，过电流流入压力开关/传感器，可能瞬时破坏压力开关/传感器。
・请勿使负载短路。
压力开关/传感器的负载发生短路会出现错误提示，但过电流流入可能瞬时破坏压力开关/传感器。
・请勿使用尖的工具按压各设定按钮。
否则会造成设定按钮破损。
・要检测微小的压力差时，请进行10～15分钟的预热。
刚连接电源的10分钟之内显示值可能有1％的变动。
・请根据使用情况进行适当的设定。
设定不合理时有可能造成作动不良。
对各个开关的设定，请另行参考压力开关/传感器使用说明书。
・动作中时请勿触摸LED显示部。
静电可能会对显示值造成影响。
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*维护保养
・请在供给电源OFF、停止供给空气、并排出配管中的压缩空气确定处于大气开放状态后再进行维护保养。
否则会造成构成元件误作动。
・请定期实施维护保养。
可能由于设备、装置的误作动导致构成元件发生误作动。
・请定期排出冷凝水。
冷凝水从二次侧流出会导致空压机作动不良。
・请不要用汽油、信纳水等清洗本产品。
有可能造成表面伤痕或使显示文字淡化消失。
请用柔软的布擦拭。
污渍严重时，请用布沾些用水淡化过的中性洗液拧干水后擦拭，然后再用干布擦拭。
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型号表示・型号体系
■单体型号表示方法
真空泵系统
ム
真空ポンプシステ真空发生器エジェクタ
①喷嘴直径
记号
00注1）
03
04
05
06
喷嘴公称直径
―
φ0.3
φ0.4
φ0.5
φ0.6
适用供给阀及标准供给压力
大流量（N.C.） 自我保持
● ―
●（0.35MPa） ●（0.4MPa）●（0.35MPa） ●（0.45MPa）●（0.35MPa）
●（0.5MPa）
②主体形式
记号 主体规格
1
2
3
单体
单体
集装式
通口规格
注2）PV、PD共通
（PV＝PD）
PV、PD单独
（PV≠PD）
无区别
注1)仅适用于真空泵系统。
注2)通口名及功能如下所示：
PV：空气压供给通口（真空发生器）、真空压供给通口（真空泵系统）PD：破坏压供给通口（请选择④带破坏阀）
③排气形式
0
1
2
真空泵系统
（无消声器）
消声器排气
（单独排气）
通口排气
（M5、单独排气）
④供给阀・破坏阀的组合
记号
K1
J1
Q1
Q2
供给阀
N.C.
N.C.
注3）
破坏阀N.C.
无
N.C.
无
自我保持（+COM）
自我保持（+COM）
※无破坏阀时通过大气开放口破坏真空。
注3）自我保持型仅适用于喷嘴直径为φ0.3、0.4的真空发生器。
适用主体形式
真空发生器 泵系统
PV＝PD PV≠PD PV＝PD PV≠PD
● ● ― ●
●※ ― ●※ ―
● ● ― ―
●※ ― ― ―
⑤额定电压
5
6
DC24V
DC12V
⑦手动操作
无记号
B
注6）
⑥供给阀・破坏阀导线引出方式
注4）
L L型插头连接器 带导线
LO L型插头连接器 无连接器
M M型插头连接器
注5） 带导线
MO M型插头连接器
注5） 无连接器
注4）全部带指示灯・过电压保护回路、导线长300㎜。
注5）带压力传感器、真空用压力开关时，不能选择M、MO形连接器。
不锁定推压式
锁定式（要工具型） 准标准
注6）自我保持型(供给阀)只有锁定推压式，
破坏阀可选择推压式、锁定式。
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⑧压力传感器/真空用压力开关
记号
无记号
P1
P3
EA
EAM
EAP
EB
EBM
EBP
FA
FAM
FAP
FB
FBM
FBP
种类
压力传感器
真空用
压力开关
压力范围〔kPa〕规格
无压力传感器/真空用压力开关
0～-101 输出1～5V、精度±2％F.S.以下注7）
-100～100 输出1～5V、精度±2％F.S.以下注7）
带单位切换功能注8）
NPN2输出
SI单位固定注9）
带单位切换功能[初期值psi]
注8）0～-101
带单位切换功能注8）
PNP2输出
SI单位固定注9）
带单位切换功能[初期值psi]
注8）带单位切换功能注8）
NPN2输出
SI单位固定注9）
带单位切换功能[初期值psi]
注8）-100～100
带单位切换功能注8）
PNP2输出
SI单位固定注9）
带单位切换功能[初期值psi]
注8）注7）压力传感器导线长3m。
注8）根据新计量法，日本国内不能使用带单位切换功能的产品。
注9）固定单位：kPa
⑨真空用压力开关用带连接器的导线
无记号
G
带连接器，无导线（压力传感器时无需指定）
带连接器，带导线连接器罩 导线长2m
注11）
⑩真空（V）通口 注10）
C2
C4
N1
N3
L2
L4
LN1
LN3
直通型φ2快换接头
直通型φ4快换接头
直通型φ1/8” 快换接头
直通型φ5/32” 快换接头
弯头型φ2快换接头
弯头型φ4快换接头
弯头型φ1/8” 快换接头
弯头型φ5/32” 快换接头
毫米
英寸
毫米
英寸
⑪选择项 注12）
无记号 无选择项
带单体用支架
B
（同捆出荷、未组装）
K 螺丝刀操作型破坏针阀
注12） 选择两项时请按照字母顺序书写。
注10）本产品使用的是简易过滤器，在灰尘较多的环境中使用时，
为防止过滤器堵塞，请尽早安装真空过滤器ZFA、ZFB、ZFC系列。
注11）弯头型接头与配管进行安装拆卸时，请支撑着过滤器罩进行作业。
more::- 10 -
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■集装式型号表示方法
①连数
01
02
…
1连
2连
…
②压力传感器/真空用压力开关安装对应
无记号
S
注1）
安装传感器/开关 非对应集装式
安装传感器/开关 对应集装式
12
12连
注1）单体形式⑧选择带压力开关、真空用压力开关的情况下请选择“S”。
③共通供给压（PV）通口管连接口径
01
01N
01F
M5
Rc1/8
NPT1/8
G1/8
M5ｘ0.8
④共通破坏压（PD）通口
无记号
M5
注2）
无PD通口（PV＝PD）
M5ｘ0.8（PV≠PD）
注2）可选择的供给阀、破坏阀的组合请参考单体形式④。
■关于供给通口
各通口设置在汇流板的两侧。若仅使用一侧作为供给通口时，请另行订购堵头以堵住不使用的通口。
请根据选择的连接口径选择适合的堵头（例：M5ｘ0.8时，M-5P）。
■集装式同时作动连数
使用集装式时，考虑到真空发生器喷嘴直径及供给阀形式，根据汇流板共通供给通口的口径和连接数不同，可同时作动的最大连数也不同。为充分发挥真空发生器性能，请参考下表确定可同时作动的连数及配管。
真空发生器形式
供给（PV）通口
管连接口径
供给阀形式
ZB03
大流量
（N.C.）自我
保持
ZB04
大流量
（N.C.）自我保持ZB05
大流量
ZB06
大流量
（N.C.）
（N.C.）10
Rc1/8
NPT1/8
G1/8
M5ｘ0.8
单侧供给时
12
两侧供给时
单侧供给时
两侧供给时
10
12
12
12
8
10
10
12
注）上表为在标准供给压力下，真空发生器性能可满足规格要求的连数。
注）使用真空泵系统时没有同时作动连数的限制，但是根据真空泵能力不同，随着作动连数的增加，真空压力及吸入流量会发生变化。
more::- 11 -
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产品各部分名称
■各部分名称
集装式产品
破坏流量调整针阀
破坏阀
过滤罩
安装孔
〔两侧〕真空（V）通口
汇流板
供给阀手动按钮
供给阀
共通供给（PV）通口
〔两侧〕共通破坏压（PD）通口
〔两侧〕消声器罩
锁紧螺母
（带PD通口时）
破坏阀手动按钮
单体产品
主体压力传感器Ass’y
消声器排气口
大气开放口
供给（PV）通口
破坏压（PD）通口
（PV≠PD时）
■真空用压力开关各部分名称及功能
输出（OUT1）开关输出OUT1 ON时灯亮。
输出（OUT2）开关输出OUT2 ON时灯亮。
LED显示
△按钮
（UP）
▽按钮
（DOWN）
显示现在的压力状态、设定模式状态、错误代码。增加模式选择及ON/OFF设定值。
向峰值显示模式切换时使用。
减少模式选择及ON/OFF设定值。
向谷值显示模式切换时使用。
S按钮（SET）确定各模式的变更及设定值时使用。
more::- 12 -
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安装・设置
安装、设置产品时请注意以下项目。
■安装、设置共通注意事项
①为维持真空发生器及真空泵系统正常作动，请定期对真空过滤器进行维护保养、更换。请保证维护用空间。
②本产品的过滤罩与真空配管为一体型，请留出一定“余量”保证真空侧配管(软管类)可从过滤罩上拆卸。
③请勿在过滤罩长时间承受弯曲、拉伸方向负载的状态下与真空侧配管连接。可能造成主体及过滤罩破损。
④使用真空发生器（消声器排气规格）时，使用环境及工件表面的灰尘会被吸入并附着于真空过滤器中，造成消声器吸音材堵塞。真空发生器性能下降时请对吸音材进行维护保养、更换。请保证维护用空间。
⑤产品请放置在-5～50℃的环境中。特别是放置在气控箱内时，由于放热效果差，电磁阀线圈发热导致环境温度上升，造成误作动。
⑥使用产品时，请勿拉拽电磁阀及压力传感器、真空用压力开关的导线来搬运产品本体。可能造成真空泄漏、断线、本体破损。
■单体规格的安装、设置方法
①将本体安装于墙壁面时，请使用0.075～0.096N・m的紧固力矩拧紧。若紧固力矩过大则可能会造成本体破损。（本体的宽度为10mm）。
②安装时请勿堵塞真空发生器的排气口。由于单体规格只有一侧有排气口，所以当将排气口侧安装于墙壁面时请预备垫片，保证本体与墙壁面保持1mm的空间。
more::- 13 -
文件-OM00101-A
③安装本体时，请预留空间保证供给侧的配管。
。 使用单体用支架时（支架的厚度为1mm）16
1
PV通口
在墙面安装及通口向下开放状态下使用时
PD通口
单体用支架型号：ZB1-BK1-A （包括安装螺钉M2x14 平垫片･･･2个 六角螺母M2･･･2个）
进行上述安装时推荐接头：KJH04-M5、KJL04-M5、KJW04-M5等
more::- 14 -
文件-OM00101-A
■集装式的安装、设置方法
安装汇流板时，为了更方便的对过滤器滤芯进行维护，建议在过滤罩侧留出空间。（汇流板安装孔部的厚度为11.6mm）。
安装孔
〔两侧〕
汇流板
11.6
真空（V）通口下的空间
空气源
■请使用洁净空气。
①压缩空气中若含有合成油(含化学药品、有机溶剂)、盐分、腐蚀性气体等时会造成破损及作动不良。请勿使用含有有害不纯物的压缩空气。
②若使用的压缩空气中含有较多的冷凝水或碳粉，这些物质会附着于真空发生部(喷嘴、扩散段)、电磁阀、真空用压力开关的内部，造成性能下降、作动不良。
③压缩空气的品质等级是根据ISO8573-1：2001（JIS B8392-1：2003）确定的。系统的品质等级相当于2.4.3
2.5.3 2.6.3。
推荐在产品上游安装空气过滤器和油雾分离器。（详细请参考综合样本压缩空气洁净化元件选型指南）。
more::- 15 -
文件-OM00101-A
使用供给压力
■使用时请保证供给压力在规格范围内。
若使用供给压力超过规格范围会造成产品破损。特别是使用真空泵系统、吸附部是喷嘴形状时，真空破坏压力会导致产品内部压力上升。请使用适当的压力并注意吸附部的堵塞情况。
配管
■空气压供给、真空压供给的配管
①配管前的处理
配管前请进行充分的吹气(吹净)或清洗，除去管内的切削末、切削油、异物等。
②缠密封带的方法
配管与接头螺纹连接时，请注意避免将配管螺纹部的切削末和
密封材混入配管内部. 另外，缠密封带时，请留出1个螺距。
缠绕方向
③连接配管时请考虑到配管长度会受到压力的影响而发生变化。
请留出余量。
否则会造成接头破损及配管脱落。
密封带
留出一个螺距
推荐配管条件请参考本公司网址（URL ）上的综合样本（接头＆配管共通注意事项）。
■汇流板的配管
①汇流板PV通口请使用最大直径小于φ12
的接头。
否则接头会与汇流板安装面发生干涉。
推荐接头：
KQ2S06-01S、KQ2S04-01S、KJS06-01S
②各螺纹部的紧固力矩如下所示。
●1/8（PV通口）：7～9N・m
通口）：用手拧紧后再用工具增拧约1/6圈。
●M5（PV、PD
③请使用扳手将汇流板固定后再进行接头的安装、拆卸。
若手持着真空发生器/真空泵系统本体进行作业，会造成空气泄漏、产品破损。
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■真空（V）通口的配管
①配管时请注意不要对接头及软管施加弯曲、拉伸、力矩负载、振动、冲击等外力。
会造成接头破损及配管损坏、破裂、脱落。
②与本体配管的前提是保持配管静止。
若使用时配管移动，可能会由于滑动磨损、拉伸力等造成配管的拉伸、破损、从接头中脱落等故障，
请充分确认后再使用。
③使用时请勿摇动、弯曲连接配管。
这种使用方法会造成接头破损。
④与真空（V）通口配管完成后，请勿拉拽配管搬运产品本体。
会造成过滤罩及快换接头发生破损。
V通口Ass’y品的使用
■构造上的注意事项
①V通口Ass’y品可安装拆卸快换接头。
安装、拆卸时请将过滤罩完全拧紧直到无法旋转。
若没有完全拧紧可能造成V通口脱落、破损。
过滤罩
②将本体安装于平面上时，可能造成V通口Ass’y品安装、拆卸困难。
若强制进行作业，会造成V通口Ass’y品破损及真空泄漏。此时请将汇流板从安装场所拆下，在本体悬浮状态下进行作业。
③使用直通型快换接头时，可使用六角扳手(对边2mm) 拆卸V通口Ass’y品。
由于六角孔的材质为树脂，若施加过大的力矩可能会导致安装孔破损。安装力矩请勿超过0.15N・m以上。并且当接头到停止位置时，请勿再施加0.15N・m以上的力矩。
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④拆下的V通口Ass’y品再次安装时，请确认过滤罩密封圈是否正确插入主体侧的安装槽内。
由于过滤罩密封圈的脱落、偏移会造成真空泄漏、V通口Ass’y品脱落。
V通口Ass’y品
(没有工具也可以安装，拆卸)过滤罩密封圈
过滤器滤芯
（罩内部）
⑤拆下弯头型V通口Ass’y品时，请从以下2种方法中选择一种。（更换过滤器、更换快换接头等时）
1）面对V通口正面，从左侧的V通口Ass’y品开始按顺序拆卸。
2）使用精密螺丝刀将V通口Ass’y品的卡环取下，拔出快换接头Ass’y品后，取下过滤罩。（拆卸集装式中间位置的过滤罩时有效）
卡环
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⑥请注意不要划伤快换接头的O型圈及使其附着灰尘。
否则会造成空气泄漏、真空泄漏。
⑦将直通型接头Ass’y品从V通口Ass’y品中拔出时，请先将卡环向上拉，在快换接头部连接软管或堵头之后再拔出。
若直接拉拽快换接头Ass’y品的释放帽（树脂部）会造成释放帽破损。
过滤罩密封圈
卡环
释放帽
堵头
⑧将快换接头从配管中拔出、插入时，请用手握住快换接头本体进行操作。
若未握住本体操作，会对V通口Ass’y品及快换接头Ass’y品施加外力，造成空气泄漏及产品破损。
特别是对过滤罩的径向施加弯曲方向的负载可能会造成破损。
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■快换接头使用注意事项
①配管的安装
1）请将外圈没有伤痕的软管沿直角切断。切断时请使用TK1-1、2、3的管钳，请勿使用镊子、钳子、剪子等工具。若没有使用管钳切断，会使配管切断面倾斜、扁平，无法切实安装，造成连接配管脱落和空气泄漏。并且，配管的长度请留出余量。
2）请握住配管慢慢插入到底部。
3）插到底部后请轻拉配管确定不会脱落。若没有切实安装会造成空气泄漏及配管脱落。
②配管的拔出
1）真空（V）通口使用的是KJ系列的接头。此系列产品通过按压释放帽可拔出配管。
2）按住释放帽拔出配管。若没有充分按压释放帽，会使管插入更深，导致拔出更困难。
3）拔出的配管要继续使用时，请切断插入部分后再使用。若没有切断直接使用会造成空气泄漏、配管拔出困难。
■使用非本公司配管时的注意事项
使用的配管不是本公司产品时，请确认配管外径精度是否满足以下规格。
1）尼龙管 ±0.1㎜以内
2）软尼龙管 ±0.1㎜以内
3）聚氨酯管 ±0.15㎜以内、-0.2㎜以内
配管外径精度不满足时请勿使用。会造成配管无法连接，或者连接后空气泄漏、配管脱落。
■关于配管外径φ2
不能使用本公司产品以外的配管。会造成配管无法连接，或者连接后空气泄漏、配管脱落。
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关于电磁阀
■关于手动操作
手动操作时，由于真空发生器、
真空泵系统会进行发生真空或破坏
真空的输出，请确认没有危险后再
进行操作。
·沿箭头方向( )按压到底。
按下为ON，松开为OFF。
非锁定推压式 (要工具形)
使用螺丝刀对锁定式进行操作时，
请使用钟表螺丝刀轻轻旋转。
（力矩：小于0.1N・m）
锁定式 (要工具形) 准标准
·将手动按钮向右旋转，使►标记与 1重合，即在ON状态下锁定。
·将手动按钮向左旋转，使◄标记与
0重合，即可解除锁定，恢复成手动操作方式。
注) 使用手动锁定时，平常运转开始前请务必解除锁定。
非锁定推压式 (要工具形) (自我保持型)
设置 复位
·将手动按钮向右旋转，使►标记与1重 合，即在设置状态(流路P→A)下锁定。·将手动按钮向左旋转，使◄标记与0重 合，即可返回复位状态，(流路A→R)
(出厂时为复位状态)
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■插头连接器的使用方法
连接器的安装
●安装连接器时，用手抓住杠杆和连接
器本体直着插入插针中，将杆杠的爪
塞入阀盖的凸槽处，便可锁住。
●拆卸连接器时，用拇指将杠杆向上推，
然后将爪部从凹槽处直着拔出。
注)请勿使劲拉拽导线。会导致接触不良、
断线等。
插针
凸部
壳体
插针
连接器
型号：AXT661-12
导线
20.2~0.33mm
(最大被覆盖外径：φ1.7mm)
插座
型号：DXT170-71-1
凸部
杠杆爪钩子
导线及插头的压着
将导线先端剥掉3.2~3.7mm的外皮，将芯线前端整理好放入插头中，用压着工具压着。请注意芯线压着部不要压到导线。(压着工具：型号DXT170-75-1)
芯线压着部
插座
钩子
带导线插头的装卸
●安装时
被覆盖部
芯线
导线 0.2~0.33mm
(最大被覆盖外径：φ1.7mm)
被覆盖部
2，将导线向最内侧压入，插头的钩子勾住插头然后锁住。（按压时，
将插头插入连接器的孔(有A、C、B表示）钩子打开，自动锁住）。然后轻轻拉动导线，确认已经锁紧。
●拆卸时
将插头从连接器上拔出时，用细棒(约1mm)
按压插头上的钩子，然后将导线拔出。重新使
用插头时，请将钩子向外拉伸。
插头连接器钩子导线
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配线规格
●电磁阀导线的连接如下图所示，请与各自的电源连接。
●关于插头连接器导线长
带导线的电磁阀导线长300㎜。希望订购导线长600㎜以上的电磁阀时，请订购无连接器的电磁阀和连接器Ass’y品。
N.C.
导线颜色
黑
红
自我保持型
■指示灯・过电压保护回路
自我保持型电磁阀在设置侧通电和复位侧通电时用橙色和绿色2种指示灯表示。
※虚线表示自我保持型、大流量规格。
注1）N.C.规格有极性。ON：指示灯亮（橙色）
注2）设置侧通电：指示灯亮（橙色） 复位侧通电：指示灯亮（绿色）。带防止误配线机构（停止二极管）
带过电压・保护回路（ZNR/过电压吸收二极管）
注3）A（设置）侧通电时发生真空，B（复位）侧通电时真空停止。
M形连接器
指示灯
·(设置：橙色)
·(复位：绿色)
(复位仅适用于自我保持型)L形连接器
指示灯
·
(设置：橙色)
·(复位：绿色)
(复位仅适用于自我保持型)单电控（N.C.）
自我保持型（DC+COM）
A(-) 设置
同时通电保护回路
C(+) COM
B(-) 复位
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■自我保持型供给阀的使用方法
自我保持型电磁阀的构造为：通过给带自我保持机构的电磁线圈瞬时通电(10ms以上)，电磁线圈内的可动铁心即可保持在设置位置及复位位置。因此没有必要连续通电。
《使用自我保持型电磁阀时需要特别注意的事项》
1．请勿使用同时向设置、复位信号通电的回路。
2．进行自我保持需要的最小通电时间为10ms。
3．一般的使用方法、使用场所都没有问题，但是在30m/s以上振动及高磁场的场所使用时请与本公司确认。
4．本供给阀出厂时保持复位位置(真空停止)，但由于运输及安装供给阀时受到冲击，可能会变为设置位置。因此使用前请确认电源及手动按钮是否在原位置。
自我保持
A-C ON （设置）
B-C ON （复位）
N.C.
A-C ON （设置）
OFF
动作
真空发生
真空停止
指示灯
橙色
―
动作
真空发生
真空停止
指示灯
橙色
绿色
2供给阀为自我保持型时，由于瞬时通电10msec以上即可保持在切换位置，因此不需要连续通电。若连续通电可能由于温度上升导致作动电压升高，ON作动不良。
如果有必要连续通电时可连续通电10分钟以下，并保证到下次作动的非通电时间（A侧、B侧都OFF的时间）长于通电时间。（占空比请控制在50％以下）
■请避免电磁阀长时间通电。
若长时间连续通电，由于线圈发热、温度上升可能会导致电磁阀性能下降，对周边设备造成恶劣影响。因此电磁阀长时间连续通电，或者一天之内通电时间长于非通电时间时，请使用自我保持型电磁阀来缩短通电时间。但是使用自我保持型电磁阀时，请避免A侧和B侧线圈同时通电。
电磁阀的连续通电时间请基本控制在10分钟以下，并且保证1天之内通电时间短于非通电时间。（占空比请控制在50％以下）。本产品安装于控制盘内时，为保证将本产品温度控制在规格范围内请实施放热对策。特别是在3连以上集装式或3个以上单体相邻并同时连续通电的情况下使用时，温度会大幅上升。
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构造图・零件构成
■ZB系列的构造图如下所示。
单体/带真空用压力开关规格 集装式/带压力传感器规格
■零件构成表
序号
①
②
③
④
⑤
⑥
并且，请准备零件构成表中⑦～⑮项作为维护用备件。详细请参考下一项「维护・保养」。
名称
电磁阀主体Ass’y品
针阀Ass’y品
主体
喷嘴
扩散段
消声器罩
主要材质
树脂/HNBR
树脂/黄铜/HNBR
树脂
铝
铝
树脂
电磁阀安装部
破坏流量调整用、带防止脱落构造、锁紧螺母
真空发生器用、真空泵系统用
真空泵系统时：垫片
真空泵系统时：不安装
备注
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维护・保养
■为了使您长期安全舒适的使用真空发生器、真空泵系统，请按照如下所示进行维护保养。①请按照本书所述的顺序进行维护保养。
若使用错误，会造成元件、装置破损及作动不良。
②维护作业的实施
若错误使用压缩空气会造成危险。产品维护、滤芯更换及其他维护保养请对空气压元件有足够知识和经验的人进行。
③冷凝水的排水
请对空气过滤器及油雾分离器的冷凝水进行定期排水。若冷凝水从2次侧流出，冷凝水会附着于产品内部造成作动不良及真空不良。
④请定期更换真空发生器・真空泵系统中的过滤器滤芯、吸音材(消声器)。(请参考下述更换要领)。
更换周期根据使用状况、使用环境、供给空气的品质不同会有所区别。当压力下降5kPa时推荐更换。
但是，使用中由于设定上的问题造成真空压力下降、真空(吸附)应答时间延迟的情况发生时，请停止运转、更换滤芯。不要考虑上述更换条件。
⑤在空气中含有粉尘等大量灰尘的环境中使用时
考虑到本产品使用的滤芯过滤能力不足，为防患于未然，推荐使用本公司真空过滤器（ZFA、ZFB、ZFC系列）。
⑥维护前后的保养
请先停止供给空气、并排出配管中的压缩空气，确定处于大气开放状态后再拆卸产品。各种维护完成后重新组装时，请先接通供给压缩空气并通电，实施适当的功能检查和泄漏检查。特别是使用自我保持型供给阀时，开始时供给阀可能处于ON状态，请务必确认后再接通。
⑦请勿分解、改造维护保养对象产品以外的零件。
■更换用零件清单
序号
⑦
⑧
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
⑮
零件名 【用途】
供给阀
【真空发生用】
破坏阀 【真空破坏用】
V通口Ass’y品
【真空通口用】
快换接头
过滤器滤芯
【真空过滤器用】
吸音材 【消声器用】
压力传感器Ass’y品
真空用压力开关Ass’y品
汇流板Ass’y品
型号
ZB1-VQ110U□□□
ZB1-VQ110L□□□
ZB1-VQ120U□□□
ZB1-VQ110-□□□
ZB1-VPN3-□-A
KJ□□-C1
ZB1-FE3-A
ZB1-SE1-A
ZB1-PS□-A
ZB1-ZS□□□□-A
ZZB□-□□□
备注
N.C：真空发生器用供给阀(适用喷嘴直径0.3、0.4、0.5、0.6)自我保持型：真空发生器用供给阀(适用喷嘴直径0.3、0.4)
N.C：真空泵系统用供给阀
N.C.
材质：透明特殊尼龙 带快换接头、过滤器滤芯
仅更换快换接头部分时用
过滤精度：30μm 10个1套
10个1套
连数变更时用
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■更换用零件型号表示方法
供给阀・⑧破坏阀
(Ⅰ)ZB1-VQ110U-
(Ⅱ)ZB1-VQ110L-
(Ⅲ)ZB1-VQ120U-●供给阀・破坏阀组合
※根据真空发生器的喷嘴直径，可选择的供给阀规格也不同。
※表中的记号与左侧供给阀･破坏阀型号相对应。
供给阀·破坏阀规格记号K1J1Q1Q2注1)(Ⅳ)ZB1-VQ110 -
额定电压5DC24V6DC12V真空发生器泵系统ZB00ZB03ZB04ZB05ZB06供给阀破坏阀供给阀破坏阀供给阀破坏阀供给阀破坏阀供给阀破坏阀供给阀破坏阀N.C.N.C.(Ⅰ)(Ⅳ)(Ⅰ)(Ⅳ)(Ⅰ)(Ⅳ)(Ⅰ)(Ⅳ)(Ⅲ)(Ⅳ)(Ⅰ)(Ⅰ)N.C.无(Ⅱ)(Ⅱ)(Ⅰ)(Ⅰ)(Ⅲ)(Ⅱ)(Ⅳ)(Ⅱ)自我保持N.C.(Ⅰ)(Ⅰ)(Ⅳ)自我保持无(Ⅱ)(Ⅱ)●连接器Ass’y型号及附件
附表2连接器Ass'y型号
连接器取出方法LL形插头·带导线
LOL形插头·无连接器
ML形插头·带导线注2)MOL形插头·无连接器注2)AXT661-适用供给阀·破坏阀(Ⅰ)、(Ⅲ)、(Ⅳ)(NC)(Ⅱ)13A(自我保持)14A-导线长(mm)无记号61
注1)全部带指示灯·过电压保护回
路。导线长300mm，其他长度
请选择无连接器，按照右侧表
附表3供给阀·破坏阀的附件
电磁阀型号ZB1-VQ110U-□□ZB1-VQ110U-□□BZB1-VQ110L-□□ZB1-VQ120U-□□ZB1-VQ120U-□□BZB1-VQ110-□□ZB1-VQ110-□□B附件安装螺钉(M1.7X15)2个安装螺钉(M1.7X22)2个安装螺钉(M1.7X22)2个安装螺钉(M1.7X15)2个安装螺钉(M1.7X22)2个安装螺钉(M1.7X15)2个安装螺钉(M1.7X22)2个选择连接器Ass'y型号。
注2)M形不能带压力传感器。
手动操作注3)无记号非锁定推压式
B锁定式(要工具形)准标准压下锁定式。
注3)自我保持型仅有无记号：
注4)附件请参考
附表3
⑨V通口Ass’y品
ZB1-VPN3-
C2C4N1N3L2L4LN1LN3⑩快换接头
（订货以10个为单位）
-A快换接头直通式φ2快换接头直通式φ4快换接头直通式φ1/8"快换接头直通式5/32"快换接头弯头式φ2快换接头弯头式φ4快换接头弯头式φ1/8"快换接头弯头式5/32"快换接头毫米英寸毫米英寸KJH主体形式H直通型L弯头型04-04管连接口径02φ2快换接头毫米04φ4快换接头01φ1/8"快换接头英寸035/32"快换接头※主体形式：弯头、管连接口径：φ4的快换接头组合
请在末尾「-N」。
KJL04-C1-N
识别记号
⑪滤芯
（10个一套）
ZB1-FE3-A
（过滤精度30μm）
⑫吸音材
（10个一套）
ZB1-SE1-A
3
1
⑬压力传感器Ass’y品
ZA **压力传感器规格
0～-101kPa、输出1～5V
精度±2%F.S以下
-100～100kPa、输出1～5V精度±2%F.S.以下
识别记号ZA
识别记号FA
※框中的文字代表压力传感器的制造年月。
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带安装螺钉(M2×30) 2个、O型圈1个
※导线长3m
文件-OM00101-A
⑭真空用压力开关Ass’y品
※只需要带连接器的导线时，请按照下
记型号订购。
带连接器导线型号：ZS-39-5G
ZB1-ZS额定压力范围EF 0.0~-101.0KPa -100.0~100KPaAMG-A带连接器导线无记号带连接器、无导线带连接器、带导线G(导线长2m)AB输出规格NPN集电极开路2输出PNP集电极开路2输出单位规格
无记号带单位切换功能注1)MSI单位固定注2)P带单位切换功能(初期值psi)注1)注1) 根据新计量法，日本国内不能使用 带单位切换功能的产品。
注2)固定单位：kPa
带安装螺钉(M2×30) 2个、O型圈1个
■过滤器滤芯更换要领
●用手指捏住V通口Ass’y品，逆时针旋转约45°后拔出。
使用直通型接头时，可使用六角扳手（对边2）进行拆卸。
●请取出过滤罩内的滤芯，将新滤芯按到过滤罩内部牢
固安装。（右图①）
●请确认过滤罩密封圈没有移位和异物附着。
●将V通口Ass’y品插入本体（下图②）轻轻按压的同时顺
沟槽部注！
凸起部请向上安装。凸起部
时针旋转约45°，一直旋转到停止位置。（下图③）
过滤罩密封圈(请将V通口Ass’y品按照下图所示的方向安装。若凸起部
过滤器滤芯
向下安装，则本体与平面安装时会发生干涉，造成过滤
罩及本体破损)。
过滤罩
真空通口■吸音材更换要领
※）
●将本体翻转过来，用手指及精密螺丝刀捏住凹槽部朝着
消声器端盖处的△标记方向横向滑动。
●听到咔嚓一声，钩子松开，用手指抓住A部后将盖拔出。
●使用精密螺丝刀拉住消音材并拔出。
●插入新的吸音材，按相反顺序安装端盖。
（进行更换吸音材作业时，可以看到内部金属材质的扩散段。
此部分十分重要，更换吸音材时请勿触碰、施加外力)。
（※）使用真空泵系统时没有内置吸音材。
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文件-OM00101-A
■电磁阀（供给阀・破坏阀）更换要领
●本产品装有真空发生用的「供给阀」及真空破坏用的「破坏阀」。
为保证长时间使用本产品，需要更换电磁阀时请按照以下顺序进行作业。
①取下电磁阀安装螺钉。
②取下电磁阀。
③在安装新电磁阀之前请确认安装面有无灰尘及伤痕。
并且，请确认密封圈及供给阀的过滤器滤芯R（大气开放口用过滤器）是否正确安装。（破坏阀中没有安装过滤器滤芯R）
④电磁阀的安装螺钉请按照以下紧固力矩拧紧。
合适安装力矩 〔N・m〕
●若同时拆下供给阀和破坏阀，电磁阀主体也会一同被拆下。为防止零件脱落及异物进入，进行拆卸、组装电磁阀时请将零件一个一个拆下或安装。
※）过滤器滤芯R的功能：当供给阀从ON变为OFF时，大气压会从大气开放口流入本体内部「真空压」的空间中。将过滤器滤芯R设置在这条流路上以防止环境中的灰尘等进入电磁阀内部。
过滤器滤芯R
※）
密封圈
0.054～0.08
供给阀
安装螺钉
A
电磁阀主体
more::- 29 -
文件-OM00101-A
关于集装式产品
■汇流板增减连的方法
●汇流板增减连时，请订购希望变更连数的汇流板（①），增连时请根据需要数量订购主体形式为3的单体产品。
订购型号请参考型号表示方法（P9～11）。由于是否可以安装压力传感器・真空压力开关的汇流板型号不同，选型时请注意。
●组装时请确认密封圈有无脱落。
请按照右侧所示力矩拧紧。若施加过
大的力矩可能会造成主体破损。
●带压力传感器/真空用压力开关时，
请订购希望变更连数的汇流板（①）；
增连时请根据需要数量订购主体形式为3
的单体产品（②）、压力开关传感器Ass’y
品或真空用压力开关Ass’y品（④）。
●此时，压力传感器（③）/真空用压力
开关（④）与单体产品（②）共同安装。
（请参考右图）
●安装压力传感器/真空用压力开关时，
请确认安装面上的O型圈有无脱落、
是否不在安装槽内。
若O型圈没有正确安装会造成真空泄漏。
真空压取出口
(压力传感器/真空用压力开关安装对应)
合适安装力矩 N·m0.075~0.096密封圈
安装螺钉M2
关于过滤罩
■本产品的过滤罩材质为透明特殊尼龙。
请勿在有酒精等化学药品附着或在含有这些物质的环境中使用。
more::- 30 -
文件-OM00101-A
关于破坏流量针阀
■关于破坏流量特性
右表为当破坏针阀从全闭到慢慢开启时供给
压力的流量特性。
但是此流量特性为单体产品的代表值，受到
真空（V）通口的配管条件、回路等影响，
最终吸附部的流量会发生变化。
并且，流量特性与针阀旋转次数与产品规格
会有误差。
破坏流量[L/min(ANR)]
针阀开度(旋转)
■针阀有防止脱落功能。到达停止位置时便无法再继续旋转。
请注意若旋转过度会造成破损。
■当针阀处于全闭状态时请勿继续旋转。
当针阀顶端到达树脂小孔时即处于全闭状态。若到达停止位置后仍继续旋转会使树脂部变形、流量特性发生变化、造成破损。
■手柄请勿用钢丝钳等工具拧紧。
会造成手柄空转、破损。
关于真空发生器的排气
■使用时请勿使真空发生器的排气受到反压影响。
为充分发挥真空发生器的性能，需要尽量减少排气阻力。
消声器排气时，请注意排气口周围不要有遮挡物。通口排气时，由于受到配管直径及长度的影响会有排气阻力，反压上升请控制在0.005MPa（5kPa）以下。当配管直径为φ4时，考虑到末端状态，使用长度请控制在1000㎜以下。
消声器排气状态下进行吸附时会吸入环境中的灰尘，若供给空气没有进行充分净化会造成吸音材慢慢堵塞。吸音材堵塞会使真空发生器的排气受到反压影响，造成真空压力及吸入流量下降。
当真空发生器发生真空压力下降或应答时间延迟时请更换吸音材。（参照P31）
more::- 31 -
文件-OM00101-A
规格
■一般规格
使用温度范围
使用流体
耐振动 注1）
耐冲击 注2）
2-5～50℃（未结霜）
空气、惰性气体
30m/s（无压力传感器/真空用开关产品、带压力传感器产品）
20m/s（带开关产品）
150m/s（无压力传感器/真空用开关产品、带压力传感器产品）
100m/s（带开关产品）
222注1）10～500Hz X、Y、Z各方向2小时(通电及非通电的状态下分别进行试验，没有误作动)。
注2）X、Y、Z个方向在非通电状态下进行3次试验，没有误作动。
■供给阀・破坏阀共通规格
阀构造
给油
手动操作 注1）
保护等级
3通直动座阀
不要
非锁定推压式/锁定式（要工具形）
防尘
注1）自我保持型仅有压下锁定式。
■供给阀・破坏阀规格
种类
供给阀・破坏阀型号
适用系统
最高使用压力
最低使用压力
应答时间
线圈额定电压
消耗电力
（电流值）
供给阀
大流量型
ZB1-VQ110U-□
真空发生器
（N.C.）
0.55MPa
0.1MPa
5ms以下
DC24
DC12
ZB1-VQ120U-□
泵系统
（N.C.）
0.1MPa
-0.1MPa
5ms以下
自我保持型
ZB1-VQ110L-□
真空发生器
注1）
破坏阀
标准型
ZB1-VQ110-□
真空发生器（N.C.）泵系统（N.C.）
0.55MPa
0MPa
ON：3.5ms OFF：2ms
0.55MPa
0.1MPa
5ms以下
0.7W（29mA）注2）0.7W（29mA）注2）1W（42mA）
0.7W（29mA）注2）0.7W（58mA）注2）1W（83mA）
L形插头连接器（带指示灯・过电压保护回路）
M形插头连接器（带指示灯・过电压保护回路）
注3）
1W（42mA）
1W（42mA）
导线引出方式
注1）自我保持型仅适用于喷嘴直径为0.3、0.4的真空发生器。
注2）启动3.1W（通电后10ms）、保持0.7W．
注3）真空发生器、真空泵系统中选择不带压力传感器/真空压力开关时也可以选择M形。
more::- 32 -
文件-OM00101-A
■真空发生器规格
型号
供给阀形式
喷嘴直径 mm
供给压力范围
注2） MPa
标准供给压力 MPa
空气消耗流量 L/min（ANR）
注1）
03M
大流量
（N.C.）自我保持04M
大流量
（N.C.）自我保持05M
大流量
（N.C.）
0.5
06H
大流量
（N.C.）
0.6
0.3～0.550.3 0.4
0.2～0.55
0.35
3.5
2
-85
0.4
4
0.35
6.5
3.5
0.45
8.5
0.35
10
4.5
-90
0.5
18
7 最大吸入流量 ℓ/min（ANR）
最高真空压力 kPa
注1）表中的值为代表值。使用产品时受到大气压（天气变化、使用场所的海拔高度）影响会发生变化。
注2）使用带压力传感器、真空用压力开关时最高使用压力为0.5MPa。
关于真空发生器的选定请参考本公司网站（URL ）中关于真空元件的选定方法。请参考Best Pneumatics No.4 P825～846。
■真空过滤器规格
过滤精度
过滤面积
30μm
130mm2
■压力传感器规格／ZB1-PS□-A
型号
（传感器部 标准品型号）
额定压力范围
耐压力
输出电压
输出阻抗
电源电压
消耗电流
精度
直线性
重复精度
电源电压的影响
温度特性
材质
导线
注1）表中未标明的规格同P.35一般规格。
ZB1-PS1-A
（PSE541）
0～-101kPa
500kPa
DC1～5V
约1kΩ
ZB1-PS3-A
（PSE543）
-100～100kPa
DC10～24V±10％、脉动（P-P）10％以下
15mA以下
±2％F．S．（环境温度25℃时）
±0.4％F．S．以下
±0.2％F．S．以下
±0.8％F．S．以下
±2％F．S．以下（以环境温度25℃为基准）
树脂外壳
压力传感器受压部：硅、O型圈：HNBR
耐油乙烯绝缘导线
2.7X3.2mm椭圆、导体截面积：0.15mm2 3芯3m、绝缘体外径：0.9mm
壳体部
压力检出部
more::- 33 -
文件-OM00101-A
■真空用压力开关／ZB1-ZS□□□□-A
型号
（传感器部 标准型号）
额定压力范围
设定压力范围/显示压力范围
耐压力
设定最小单位
电源电压
消耗电流
开关输出
最大负载电流
最大外加电压
残留电压
应答时间
短路保护
重复精度
迟滞
迟滞模式
窗口比较器模式
ZB1-ZSE□□□-A
（ZSE10）
0～-101kPa
10～-105kPa
500kPa
0.1kPa
ZB1-ZSF□□□-A
（ZSE10F）
-100～100kPa
-105～105kPa
DC12～24V±10％、脉动（ｐ-ｐ）10％以下（带逆接保护）
40mA以下
NPN或PNP集电极开路2输出（选择）
80mA
28V（NPN输出时）
2V以下（负载电流80mA时）
2.5ms以下（防止振盈功能时：选择20、100、500、1000、2000ms）装备
±0.2％F．S．±1digit
从0开始可变
注1）
显示方式
表示精度
动作表示灯
保护等级
耐环境
使用湿度
耐电压
绝缘电阻
温度特性
导线
3 1/2行 7分节 LED 1种颜色表示（红）
±2％F．S．±1digit （环境温度25℃±3℃时）
开关ON时灯亮 OUT1：绿 OUT2：红
IP40
动作时・保存时：35～85％RH（未结霜）
AC1000V 1分钟内 充电部及壳体间
50MΩ以上（DC500V兆） 充电部及壳体间
±2％F．S．（使用温度范围-5～50℃ 25℃时）
耐油乙烯绝缘导线
导体截面积：0.15㎜ （AWG26） 5芯2m、径：1.0㎜
2注1）外加电压在设定值附近变动时，请将迟滞设定为变动值以上。否则会发生振盈。
注2）表中未标明的规格同P.35一般规格。
■内部回路及配线例
●压力传感器
●真空用压力开关
more::输出阻抗 约1kΩ
电压输出式样 1~5V MAX.28V，80mA
- 34 -
残留电压2V以下
MAX.28V，80mA
残留电压2V以下
文件-OM00101-A
回路图
■单体规格
●带供给阀/破坏阀、无压力传感器/真空用压力开关
●带供给阀/破坏阀、带压力传感器
真空发生器 PV=PD
ZB□11-K1□□□-□
大气开放口
供给阀
破坏阀
真空泵系统 PV≠PD
ZB0020-K1□□□-□
大气开放口
供给阀
破坏阀
●只带供给阀、无压力传感器/真空用压力开关
真空发生器 只限PV
ZB□11-J1□□□-□
大气开放口
供给阀
真空泵系统 只限PV
ZB0010-J1□□□-□
大气开放口
供给阀
真空发生器 PV≠PD
1
ZB□21-Q1□L(O)□-P -□
3
大气开放口
供给阀
破坏阀
真空泵系统 PV≠PD
1
ZB0020-K1□L(O)□-P -□
3
大气开放口
供给阀
破坏阀
压力传感器
压力传感器
more::- 35 -
文件-OM00101-A
■集装规格
●带供给阀/破坏阀、无压力传感器/真空用压力开关
真空发生器 PV=PD
ZZB□-□□ ＊ZB□31-K1□□□-□
D
侧
连数
U侧
大气开放口供给阀破坏阀大气开放口供给阀破坏阀
●带供给阀/破坏阀、带真空用压力开关
真空发生器 PV≠PD
EZZB□-S□□M5 ＊ZB□31-Q1□L(O)□- □□-□
F
D侧
连数
真空用压力开关
真空用压力开关U侧
大气开放口
供给阀
破坏阀
大气开放口
供给阀破坏阀
●带供给阀/破坏阀、带真空用压力开关
真空泵系统 PV≠PD
EZZB□-S□□M5 ＊ZB0030-K1□L(O)□- □□-□
FD侧
连数
U侧真空用压力开关
真空用压力开关
大气开放口
供给阀破坏阀大气开放口
供给阀破坏阀more::- 36 -
文件-OM00101-A
重量
■单体重量
单体型号
ZB□1/2□-K1□（单体规格、无传感器）
ZB□3□-K1□（集装用1连、无传感器）
重量 ｇ
46
40
■压力传感器·真空压力开关
压力传感器·真空压力开关型号
ZB1-PS□-A （不包含电缆的重量）
ZB1-ZS□□□-A （不包含带插头的导线Ass’y品品的重量）
重量 g
5
14
■汇流板
1连 2连 3连 4连 5连22 28 34 41
6连47
7连53
8连60
9连66
10连72
11连 12连
79 85 重量g 16
●集装型的重量计算公式
（单体重量ｘ连数）+（压力传感器・真空压力开关重量ｘ连数）+汇流板
计算例）
带压力传感器、5连集装时
40g ｘ 5个 + 5g ｘ 5个 + 41g ＝ 266g
more::- 37 -
文件-OM00101-A
真空发生器的排气特性、流量特性
■喷嘴直径φ0.3 供给阀：大流量型（N.C.） / ZB03□□-K1/J1
排气特性
真空
压力[KPa]
供给压力[MPa]
真空压力
真空压力
流量特性(供给压力为0.35MPa时的特性)空气消耗量
吸空入气流消量耗量吸入流量
真空压力■喷嘴直径φ0.4 供给阀：大流量型（N.C.） / ZB04□□-K1/J1
排气特性
真空压力吸空入气流消量耗量[L/min(ANR)]
[L/min(ANR)]
流量特性空气消耗量
真空压力[KPa]
吸入流量[L/min(ANR)]
(供给压力为0.35MPa时的特性)[L/min(ANR)][L/min(ANR)]■喷嘴直径φ0.5 供给阀：大流量型（N.C.） / ZB05□□-K1/J1
排气特性
真空
压力[KPa]供给压力[MPa]
真空压力真空压力
[KPa]吸入流量
[KPa]吸入流量[L/min(ANR)]
供给压力[MPa]
流量特性吸空入气流消量耗量吸入流量(供给压力为0.35MPa时的特性)空气消耗量
真空压力■喷嘴直径φ0.6 供给阀：大流量型（N.C.） / ZB06□□-K1/J1
排气特性
真空压力吸空入气流消量耗量[L/min(ANR)][L/min(ANR)][L/min(ANR)][L/min(ANR)]流量特性[KPa]吸入流量[L/min(ANR)]
(供给压力为0.5MPa时的特性)空气消耗量真空压力more::- 38 -
[KPa]供给压力[MPa]
[KPa]吸入流量
吸入流量[L/min(ANR)]
文件-OM00101-A
■喷嘴直径φ0.3 供给阀：自我保持型 / ZB03□□-Q1/Q2
排气特性
流量特性真空压力
(供给压力为0.5MPa时的特性)
空
力
压[KPa]
真空气消耗量
吸空入气流消量耗量真空压力[L/min(ANR)]
[L/min(ANR)]
[KPa]
吸入流量
供给压力[MPa]
吸入流量[L/min(ANR)]
■喷嘴直径φ0.4 供给阀：自我保持型 / ZB04□□-Q1/Q2
排气特性
真空压力流量特性(供给压力为0.5MPa时的特性)真空压力
吸空入气流消量耗量空气消耗量
真空压力[L/min(ANR)][L/min(ANR)][FPa]供给压力[MPa]
[FPa]吸入流量
吸入流量[L/min(ANR)]
真空泵系统流量特性
■真空泵系统 / ZB00□0-K1/J1
根据真空（V）通口的配管条件不同，最终吸附部的流量会有变化。
下表是真空（V）通口处配管是φ4ｘ50㎜时的值。
真空压力more::- 39 -
[KPa]
吸入流量[L/min(ANR)]
文件-OM00101-A
关于流量特性表
■真空发生器、真空泵系统流量特性表的说明
●流量特性表示真空发生器和真空泵系统间的关系，
当吸入流量发生变化时真空压力也随之变化。
一般情况下表示真空发生器使用标准供给压力时
的关系。
右图中Pmax表示最高真空压力，Qmax表示最大
吸入流量。这是本说明书和产品样本中记载的规格
值。
真空压力按以下顺序发生变化，说明如下。
①塞住真空单元的真空（V）通口，密封住，吸入流量变为“0”，真空压力变为最高（Pmax）。
②真空（V）通口缓缓打开，空气流动。（随着空气泄漏，吸入流量增加，真空压力变低。）・・・〔P1-Q1的状态〕
③进一步打开真空（V）通口，到全开状态时吸入流量变为最大（Qmax），此时的真空压力几乎为“0”（大气压）。
如此，吸入流量变化真空压力也发生变化。
换成工件吸附状态考虑的话，吸附部以及真空（V）通口侧配管处无泄漏时真空压力变为最高，工件吸附泄漏多的话真空压力降低。泄漏量和吸入流量相同时，真空压力几乎变为“0”，不能吸附工件。
用于吸附有透气性的工件以及在有泄漏的吸附状态下时，真空压力不会变高，所以请充分验证搬运状态并进行事前试验。
吸入流量
真空压力
关于压力传感器Ass’y品
■关于压力传感器
本产品内安装的压力传感器是分离型压力传感器，没有作为真空开关的输入输出功能。若客户系统上使用模拟输出（1～5V）的话，请使用本公司生产的压力传感器控制器（PSE200、PSE300系列）。
■使用上的注意事项
①使用期间，请避免掉落、磕碰或施加过大的冲击（980m/s）。即使传感器主体本身没有破损，产品内部也有可能破损，发生误作动。
②导线的拉伸强度是50N以内。超出此值拉伸的话会导致故障。使用时必须手持本体操作。
③关于传感器连接用连接器的连接方法，请参考压力传感器PSE540系列的使用说明书（本公司网址 URL
）。2more::- 40 -
文件-OM00101-A
关于真空用压力开关Ass’y品
■使用上的注意事项
①使用期间，请避免掉落、磕碰或施加过大的冲击（100m/s）。即使传感器主体本身没有破损，产品内部也有可能破损，发生误作动。
②导线的拉伸强度是35N以内。超出此值拉伸的话会导致故障。使用时必须手持本体操作。
③请避免重复弯曲带连接器的导线或施加拉伸力。在这种状态下配线的话有可能导致断线。导线可挪动时，请将导线固定在开关本体附近。另，弯曲半径的参考值是R40～60mm以上。详细情况请咨询本公司。
2■关于连接
①误配线会引起开关破损、故障以及误作动。另外，配线时请务必先切断电源。
②在通电的状态下，请勿插拔连接器。有可能会引起开关输出误作动。
③若动力线和高压线使用同一线路配线，脉冲可能会引起误作动。请使用不同的线路进行配线。
④使用市场购买的开关电源时，请务必将F.G.端子接地。
■关于使用环境
（压力传感器Ass’y品、真空用压力开关Ass’y品共通）
使用树脂配管时，根据使用流体的不同有可能产生静电。连接压力传感器Ass’y品、真空用压力开关Ass’y品时，请充分进行设备侧的静电对策，连接的接地请不要与发生强电磁的设备或发生高频波的设备的接地共用。
静电可能会引起压力传感器Ass’y品和真空用压力开关Ass’y品的破损。
除此以外的压力传感器（分离型压力传感器/PSE系列）和真空用压力开关（薄形数字压力开关/ZISE10系列）的详细说明请登录本公司网址 (URL ）查阅。more::- 41 -
文件-OM00101-A
故障一览表
■使用真空发生器/真空泵系统时发生故障的现象及处理方法
现象
初期的吸附不良
（试运转时不能吸附）
真空压力低＝吸附部位漏气、因工件变形发生间隙
主要原因
吸附面积小＝相比工件重量和搬运时施加的力而言，吸附力太小。
增加吸附力
→加大吸盘直径
→增加吸盘的个数
减少真空泄漏（真空压力UP）
→变更吸盘形状，扩大吸附面积
→变更吸盘材质（适用于表面凹凸不平的工件）
→工件较薄时，使用相对应的吸盘
真空压力低＝因工件的透气性发生漏气
真空压力低＝真空配管漏气
吸入流量少
（真空发生器性能不足）
吸入流量少＝真空发生器的吸入量受配管直径和长度的限制
真空压力低·吸入流量少＝真空发生器的供给压力不足
→测量真空发生时的供给压力，增加到标准供给压。流量不足时，调整线路。
特别是在集装式同时作动时，供给压力流量不足的话压力会下降
真空压力低·吸入流量少＝脉冲、扩散段堵塞
供给阀的误作动
→除去异物、附着物(需要修理)
为防止再次发生，请进行吹净，在供给侧设置空气过滤器
测量电磁阀供给电压
→修改电气回路、配线、连接器
→在额定电压范围内使用
吸附响应时间延迟
相对于真空发生器性能而言，真空侧回路的内容积过大
吸附确认的真空压力设定过高＝到达设定值的时间长
真空压力变动
发生真空压力变更的现象＝在特定的供给压力范围内排气音间断
供给压力的变动 在供给侧压缩空气回路（线）中设置气罐，减少其它设备的消耗量
在比标准供给压力稍低的压力下产生的特有现象→稍微上调或下调供给压力
→减小真空回路的内容积
→变更为吸入流量多的真空发生器
优化吸附力，设定尽可能低的吸附确认真空压力
→调整真空侧的配管直径和长度（加粗、缩短）
确认真空压力和吸入流量
→变更为吸入流量多的真空发生器
→修理漏气的部位
→变更为吸入流量多的真空发生器
措施
more::- 42 -
文件-OM00101-A
现象
经过一段时间后真空不良（初主要原因
真空压力变低＝真空过滤器堵塞（真空侧环境内有粉尘、吸引工件表面的异物，吸湿等）
净化供给空气
→冷凝水管理
→设置空气过滤器、油雾分离器
→更换吸音材
真空压力变低·吸入流量减少＝脉冲、扩散段堵塞
吸附部位异常＝真空吸盘劣化、因磨损发生漏气
更换过滤器滤芯时过滤器杯体密封圈脱落
电磁阀因长期通电作动不良
（通电10分钟以上或占空比50％以上）
工件的脱离不良
因真空吸盘吸附面磨损产生粘着性
破坏流量不足
→除去异物、附着物（需要修理）
为防止再次发生，在供给侧设置空气过滤器
→更换真空吸盘
→修改吸附条件（真空压力与吸盘/工件相符合）
过滤器进行维护时密封圈脱落或脱离安装槽，造成真空泄漏
→确认密封圈是否正确安装
→缩短电磁阀的通电时间
→实施使用环境内的强制换气，使电磁阀周围的温度不上升。
→打开破坏流量调整针阀
→按照PD通口规格增加PD压力
→更换真空吸盘
→修改真空吸盘的材质和形状
→使用吸附面是喷砂式样的吸盘（派生品）
真空压力过高
被静电粘住
破坏信号时间的问题
→降低供给压力，降低真空压力
→用真空用减压阀降低真空侧配管的压力
→使用导电性吸盘
工件从吸盘上完全脱离之前，如果吸盘上升的话，工件会被吸盘粘着一起上升。
→修改破坏时间和吸盘的上升时间
针对上述现象和主要原因采取措施后也没有得到改善的话，可能是产品发生了某些异常。此时，必须进行分解·修理等，请立即中止使用。
以下所列的事例会导致产品发生异常。
①使用额定电压以外的电压 ②给油而未给气 ③本体直接与水等液体接触 ④给与强烈的冲击 ⑤冷凝水、异物等混入了供给气体中 ⑥其他，本使用说明书中记载的注意事项中所列的行为。
从设备上拆卸本产品时，必须采取安全措施，并停止供给压缩空气，切断电源后再进行。
气中有冷凝水、碳粉等异物）
→更换过滤器滤芯
→增设真空过滤器（ZFA、ZFB、ZFC等）
措施
期能吸附）
真空压力变低＝吸音材堵塞（供给空more::- 43 -
文件-OM00101-A
修订履历
A版 ： P.29 修改电磁阀更换要领。
URL
客户技术洽谈窗口
免费咨询电话 0120-837-838
咨询时间：9：00~17:00(周一至周五)
注：本产品内容可能出现未先通知而变更的情况，请予以谅解。
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more::- 44 -
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