2023年12月19日发(作者：)

目 录 Table of Content

目 录Table of Content .......................................................................

修订履历 History of Document ............................................................

1. 目的 Purpose ............................................................................ 4

2. 范围 Scope ............................................................................... 4

3. 名词定义 Terms Definition ...................................................... 4

4. 权责 Authority & Duty ............................................................. 4

5. 作业流程Operation Flow .......................................................... 4

6. 作业内容 Operation Description .............................................. 5

7. 作业窗体 Form ....................................................................... 11

8. 相关文件 Concerned Documents ........................................... 11

9. 附录 Attachment ..................................................................... 11

.

文件名称：CDA系统操作作业规范

编号：

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修订履历 History of Document

版次

V01

V02

V03

V04

V05

V06

V07

V08

V09

V10

1. 目的 Purpose

建立T1厂制程用洁净干燥压缩空气(CDA)标准作业规范，以达到制程设备以及仪用空气所需的洁净干燥空气所需标准。

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修 订 内 容 备

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文件名称：CDA系统操作作业规范

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2. 适用范围 Scope

2.1.T1厂制程用压缩空气(CDA)系统包括空压机及干燥机。

2.2.提供压缩、高滤清程度、干燥、无含油之高质量空气供应T1 厂制程区之生产用工具机及中央设备厂房之仪器使用，如附件二所示。

3. 名词定义 Definition

3.1 CDA : 制程用压缩空气。

3.2 Dryer : 干燥机。

3.3 CW : 冷却水。

4. 权责 Authority & Duty

4.1 呼吸用空气系统统标准作业规范由厂务工程部配合相关单位订定之，修订时亦同。

4.2 CE-GC负责呼吸用空气系统之维护保养。

5. 作业流程.Operation Flow

部门/ 组织

会话.

作

业

流

程

1

作

业

流

程

2

6.作业流程 Operational procedure

6.1系统说明

洁净干空气设备群均安装于中央设备厂房(CUB)二楼内。无油式空压机将大气压缩至所需要的压力。大气经由滤清器及消音器被吸入压缩腔室加以压缩，然后经由后置冷却器进入气水分离器内为将凝结水加以去除，凝结水则藉由气水分离器下方自动却水器将其排放。

权单位一

责单位二

单单位三

位

单位四

参考文件/ 窗体

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压缩过的空气则贮存于下游之空气储槽内供下游之生产机具及仪器使用。

6.2主要设备说明：

6.2.1空压机

四部容量为100%之三段离心式日立（HITACH）空压机，型号为Hi-Turbo 960，彼此互为备用。压缩机为高度模块化，且完全于工厂内完成动态与静态平衡及测试之完整单元；运转时以二段Cooling Water及一段Chiller Water加以冷却。完整的压缩机包含所有必须之前段冷却器、中段冷却器，后段冷却器、排水管及阀配件、安全阀、进／出口阀、润滑油循环系统、压力表、温度计及其它必要的配件。每部压缩机可提供之流量为10500 SM3/hr，其出口压力为8.8kg/cm2G。

6.2.2空气贮槽

四具体积35M3之空气贮槽，分别配置于空压机之后，其构造均依据CNS或同等级法规进行制作。外观为立式，而本体材质为SUS304，每部贮槽内部设有除水档板；贮槽上有空气管出入口、仪器接点及安全阀之接点管嘴，并备有人孔及维修爬梯。

6.2.3电热式干燥机

四部容量为100%之电热再生吸附式干燥机，其处理风量为11000Nm3/Hr.，厂牌为Ultra Filter，型号HS1100。压缩空气经由吸收塔内之干燥吸附剂模块将水份去除。每部吸附式干燥机备用两具吸收塔，当一具吸收塔进行干燥作业，另一具吸附塔则进行脱水再生之动作；每循环完成之后两塔功能交替来进行下一回合之压缩空气干燥作业。本设备为完全自动操作且由定时器控制，每循环运转周期可分为2 小时，并可针对节能来加以控制。

6.2.4前置(Pre-Filter)及后置式(After Filter)空气过滤器。

本系统在进入吸收附干燥机前各设置一具，结合式(Coalescing)前置空气过滤器。主要功能为除去压缩空气中所含之水份及油份。壳体材质为铝合金，滤心过滤能力为0.01µm。此外并于后端空气贮槽各设置一具厂牌为，容量为之结合式后置空气过滤器。壳体材质为铝合金，滤心过滤能力为0.01µm。每具过滤下方设有自动却水器将收集到的油滴及水排放。另于过滤器外部设有差压指示计供操作人员判断是否需更换滤心。

6.2.5最终过滤器(Final Filter)

本系统进入主供应管前再增设超威过滤器。本设备为一高効能过滤装置可将压缩空气内各种杂质粒经过滤到0.01µm以及除油率为0.01µm/m3之程度。为保持滤出压缩空气之清洁防止杂质沉淀于过滤器壳体内，其材质以抛光处理之SUS304BA材质。如同前置及后置过滤器，超威过滤器亦设有差压指示计及自动却水装置。

6.2.6配管

本系统管材采用SUS304及SUS316LVBA。其中SUS316LVBA段系安排在超威过滤器之后。

6.3控制系统说明

6.3.1空压机中Hi-Turbo-960机组设定为本务机，HiTurbo-340则为调节机，当瞬间用量过大时调节机立即启动以调节其它本务机启动运转之空窗期，其它备用机可采取手动或自动起动运转。压力仪送器负责将系统内之压力传送至中控室进行监控，倘若压力不足7kg/cm2G，将以警报告知操作人。本系统另设有安全阀，安装于空气贮槽顶

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部，藉以保护系统免于过压。

6.3.2干燥机为全自动操作，并将压力露点显示送至中控室作监控。

6.3.3压力传送器安装在进入制程区分布管路之起点(超威过滤器之后)，用于监测压缩空气压力，倘若管内压力不足6.5kg/cm2G时，将以警报告知操作人员。压力控制阀(由氮气供应)，系安装在氮气补气管路上，当压力较设定值为低时，控制阀即开启并将氮气送入系统内使压力超过设定值。

6.3.4异常情况时，空压机组中，第一台为衔接紧急电源，当厂区正常供电中断时，空压机仍可藉由紧急供电系统，提供电力正常运转。

6.4洁净干燥压缩空气（CDA）系统操作程序

6.4.1操作条件及注意事项：

6.4.1.1 确认冷却水（CW）系统已经启动，冷却水管线回路各阀已经全部开启。

6.4.1.2 确认供应至压缩机之电源断路器已置于 ”ON”的位置。

6.4.1.3 确认Oil Pump Stop及COMP Stop灯号亮着。

6.4.1.4 确认润滑油液位高度符合需求。

6.4.1.5 确认各Drain Valve已经全部关闭。

6.4.1.6 打开Intercooler及Aftercooler Y-Type Strainer上的排水侦测阀，放出其内部的凝结水。

6.4.1.7 打开冷却水系统的排气阀(压缩机组箱内)放出冷却水系统内的空气。

6.4.1.8 确认压缩机至缓冲桶槽(6M3)的阀已经开启，但桶槽出口需先关闭，若CDA系统已经运转，而且干燥机亦已运转，则不在此限。

6.4.2启动程序

6.4.2.1现场手动启动模式

a)将冷却水控制阀（位于空压机后方）转至 ”遥控” 的位置。

b)选择欲启动之机组，按Control设定键选择 ”Local”。

c)按Aux. Mode设定键选择Oil Pump-Comp至 ”Combined” 位置。

e)按红色启动键启动机组。

f)检查润滑油压力是否指示在0.147-0.216Mpa(1.5-2.2Kg/cm2)范围内。

g)确认润滑油温度不可高于55℃。

h)确认冷却水阀已经开启。

i)等6M3 缓冲桶槽压力高过6Kg/cm2后，开启桶槽出口阀及前过滤器进出口阀，使压力进入干燥机。

j)等干燥机压力高过6Kg/cm2后，将干燥机电源开关切入”ON”的位置启动干燥机。

k)等干燥机运转超过30分钟后，再慢慢打开干燥机的出口阀，使压缩空气进入10M3

缓冲桶槽。

l)开启10M3 缓冲桶槽出口阀及中间过滤器进出口阀，使压力进入系统，供给洁净压缩空气。

6.4.2.2中控室手动启动模式

a)按机组现场盘面CONTROL设定键选择 ”Remote”。

b)按Aux. Mode设定键选择Oil Pump-Comp至 ”Combined” 位置。

c)将冷却水阀转至 ”遥控” 的位置。

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d)将中控室图控设定至手动 ”STOP” 位置。

c)中控室图控PLC按欲启动机组之 ”START” 按钮。

d)运转人员应至现场检查机组运转状况，并依照上述(8)~(10)之方式启动干燥机，供给洁净压缩空气。

6.4.2.3中控室自动启动模式

a)按机组现场盘面CONTROL设定键选择 ”Remote”。

b)按Aux. Mode设定键选择Oil Pump-Comp至 ”Combined”位置。

c)将冷却水阀转至 ”遥控”的位置。

d)将中控室图控设定至”自动”位置。

e)空气压力达到设定点时，PLC将选择运转时数较少者启动运转。

f)运转人员应至现场检查机组运转状况，并依照上述(8)~(10)之方式启动干燥机，供给洁净压缩空气。

6.4.3停机程序

6.4.3.1现场手动停机模式

a)选择欲启动之机组，按Control设定键选择 ”Local”。

b)若要停止整个系统则需先停止干燥机运转。

c)关闭前过滤器出口阀，即为干燥机进口阀。

d)关闭干燥机出口阀。

e)按绿色STOP键停止压缩机组运转。

f)等干燥机压力低于3 Kg/cm2后，将干燥机电源开关切入”OFF”的位置关闭干燥机。

g)确认机组已经停止且Oil Pump亦停止，关闭冷却水阀。

h)打开排水阀放出机组内部的残余凝结水。

6.4.3.2中控室手动停机模式

a)先将图控上”自动”改设为 ”手动”位置。

b)再按图控上 “STOP”键停止机组运转。

b)直接在现场PLC盘面上选择 ”Local”，机组亦会立刻停机。

c)若要停止整个系统则应依照上述(2)~(6)之方式停止干燥机。

d)确认机组已经停止且Oil Pump亦停止，关闭冷却水阀。

6.4.3.3紧急停机模式

a)按红色EMERGENCY STOP钮可立即停止机组一切运转行为。

b)依照上述(2)~(6)之方式停止干燥机。

c)确认机组已经停止且Oil Pump亦停止，关闭冷却水阀。

6.4.3.4 N2紧急备载程序

a)当空压机出口压力降至7 Kg/cm2 时，会有警报讯息传至中控室，由中控室人员立即紧急处理。

b)当压力低于6.5 Kg/cm2 时，连结于最终过滤器后端的气动阀会自动开启，以批次方式来加以补充。

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6.5 操作面板简介

6.5.1.控制面板简介

状态纪录显示

目录表示及

设定内容键

读取上方信息键

读取下方信息键

启动运转键

停止运转键

现场及远方运转切换键

长期运转及测试运转切换键

缓冲停机键

复归键

6.5.2.紧急停机面板简介

紧急停机钮

控制面板

6.6 洁净压缩空气故障排除程序

文件名称：CDA系统操作作业规范

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6.6.1空压机故障讯息的显示

6.6.1.1 当alarm与trip故障发生时，中控会发生警报的讯号；而现场会个别以LED灯号来显示故障讯号（alarm或trip）。

6.6.1.2 当发生故障时，机台会将其讯息纪录，最多可以记录6次；代码1为最新的履历，号码越大履历时间越久远。

6.6.1.3 可以「INDICATION/SETTING」切换按钮操作至主目录。

6.6.1.4 在主目录下，进入「RECORD」再进入「ANN REC」故障履历状态读取，便可获得讯息显示纪录，由显示的讯息参操作手册的故障显示一览表，确认发生故障实际的实际讯号。

6.6.1.5 常见异常情况，如下表示。

警报编异常说明 原因 检查项目及处理方式

号

UA-0700

空气压缩机空气压缩机组自动保护1.确认备用空气压缩机启动。

UA-0707

组故障 仪器动作

2.至现场空气压缩机控制盘查明故障原因，并依据维修手册之指引，进行维修工作。

PA-0700

压缩空气蓄1.空气压缩机组未启动。1. 启动备用空气压缩机组，并查明造成低压力之真正PA-0750

气槽压力低

2.下游系统或设备用气原因。

量过大。

2.若空气压缩机组均无法启动，则暂时提供N2供系统3.空气管路破管或有不运转使用。

正常之泄漏

UA-0720

干燥器运转1选择控制开关异常 1.检修现场控制盘内之控制组件。

UA-0721

异常

2.干燥功能丧失，产生高2.依据干燥器维修手册之指引，检查或更换干燥剂。

湿度现象。

6.6.2简易之紧急应处理程序如附件一所示。

6.7定期维修及检查项目，如附件三（FE40-0001-01）所示。

7. 作业窗体 Form

8. 参考文件 Reference

N/A

9.附件 Attachment

9.1附件一、简易CDA紧急应变处理

9.2附件二、CDA供应区域及范围

9.3附件三、厂务设备定期检查与维护保养表（FE40-0001-01）

文件名称：CDA系统操作作业规范

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附件一、简易ＣＤＡ紧急应变处理

压缩机

有电时

启另原动一动机

台

启

Control trip

alarm

至

local

rest

rest

start

＋

stop

start

start

停电时发电机启动

检查第一台是否已经

power on

Control

至

local

start

文件名称：CDA系统操作作业规范

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版本：

附件二、CDA供应之区域及范围

KA-AD-01/02

KA-F-01/02

KA-C-01 A/B

CDA

Buffer Tank

前过滤器

干燥机

最终过滤器

KA-F-05/06

Buffer Tank

KA-F-03/04

后过滤器

仪用空气

化学房气动阀及气动泵

废气

处理

自动

风门

纯水气动阀及曝气使用

Back up

GN2

制程使用

文件名称：CDA系统操作作业规范

编号：

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版本：

附件三、厂务设备定期检查与维护保养表（ □月 / □季 / □半年 / □年 / □2年）

系统名称： 洁净压缩空气系统 机台编号： 机台名称：干燥空气压缩机(CDA) 日期： 年 月

项次

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

检 查 与 维 护 保 养 项 目

油过滤器

油、气体泄漏（含排气孔和Y型管）

动力运转和时间的交替

油位

进气口过滤器

添加滑油

检查逆止阀、润滑油泵与尼龙管

容量控制仪器

主马达

润滑油

油过滤器

Alarm讯号输出

空压机过滤器滤心更换

干燥机气动阀

干燥机露点计校正

内容说明

指针是否达到红色

是否有漏气声或漏油与松脱脱落情形

是否正常

是否降低

检查压差值

以八十克为直准

是否正常与损坏龟裂

是否正常

运转是否正常

定时更换

定时更换

图控与现场警报讯息

指针是否达到红色区域

是否流畅

是否正常

规格、范围 周期

正常输出

月

月

月

月

月

月

月

年

年

年

年

年

年

年

年

结 果

日 期

备 注

说 明

每月1-5日执行保养。保养周期说明：季保养，每年1﹑4﹑7﹑10月执行；半年保养：每年4﹑10月执行；年保养：每年10月执行

(依各设备之实际需求自行调整与说明)

工程师： 主管：

窗体编号：FE40-0001-01A