2024年5月23日发(作者：)

xps分析软件Multipak处理O1s分峰拟合

前面两期我们对XPS的基本原理，XPS谱线类型等进行了分享。今天咱们更进一步，

从测试中得到的原始数据开始谈起，分享一下XPS原始数据的处理

前期内容：

一切从原理开始

2. XPS谱图都包括些啥？

在前面两期分享中，我们都提到XPS定性分析包括全谱扫描和高分辨谱，其中全谱扫

描不需要经过特别的处理，因此在这里不做过多介绍，大家对照前两期内容应该很容易实

现全谱分析，得到自己想要的信息（主要是样品所含元素种类的鉴定），这里主要介绍高

分辨谱的数据处理与分析。

1. XPS高分辨谱可以拿到什么数据？

一般而言，大家在做高分辨谱的时候，是期望看到表面某些元素的电子结构信息，判

断该元素的化学态以及所处的化学环境等等，进而说明样品的表面结构或其变化。故此，

XPS的高分辨一定是有针对性的，所要测的元素也是大家很明了的。

在上一期我们说过，对于绝缘体或者半导体而言，具有荷电效应，因此除了大家想要

测的元素之外，一般测试的时候还需要测一个C的高分辨谱，用于荷电校正。

国内像XPS这样的大型仪器一般都有专人进行测试，因此我们所得到的原始数据一般

为xls文件。

2. 荷电校正

拿到XPS高分辨谱，第一步是要进行荷电校正，得到准确的结合能数据。那么如何进

行校正呢？上一期分享中我们已经说过，荷电校正一般将外来污染碳（284.8 eV）作为基

准。具体如何操作呢？

A. 计算荷电校正值。

具体操作：将C1s的数据复制到origin中，做成曲线图，并通过数据读取工具来识别

C1s谱中的峰值坐标（主要是结合能）。

以下图为例，C1s的结合能为284.5 eV，而外来污染碳的标准值为284.8 eV,因此，

荷电校正值为284.8-284.5 eV=0.3 eV。也就是说，此次测试的这个样品，所有元素的结

合能均需要+0.3 eV作为荷电校正从而得到准确的结合能值。

补充说明：对于样品中本身就含碳的样品，采用C1s来进行荷电校正的时候一定要小

心。如果样品本身导电，实际上可以不用荷电校正。如果样品本身导电性较差，而样品中

又含碳，那么需要对样品进行分峰，分峰之后找到外来污染碳的谱峰，将其作为基准进行

校正才是准确的（并不是哪个峰最强就将其作为基准）。实际上，荷电校正值一般不会超

过0.5 eV. 如果本身含碳，也可以采用喷金的方法，以Au4f7/2(84.0 eV)作为基准来进行

荷电校正。