2024年1月30日发(作者：)

1-9级可能是参照的ISO的尺度国际尺度,之南宫帮珍创作

一般我们所说的百级相当于ISO5级

万级相当于ISO7级

十万级相当于ISO8级

一百万级相当于ISO9级

1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦尺度（.209系列）可以参考；

2，ISO1644的ISO5相当于.209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3.5颗/升，或100颗/ft，或3530颗/m）

3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通经常使用0.5μm粒径考核的居多；

4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3 μm

0.2μm 甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。

ISO 1644国际尺度中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

ISO1

ISO2

ISO3

等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m）

10 2

100 24 10 4

1000 237 102 35

3331μm 5μm

8

ISO4

ISO5

ISO6

ISO7

ISO8

ISO9

10000

100000

1000000

2365

23651

236514

1018

10176

101763

352

3517

35168

351676

3516757

35167572

83

832

8318

83176

831764

8317638

29

293

2925

29251

292511