2024年4月15日发(作者：)

空气洁净度等级标准及规范

空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的

洁净度等级。例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房

设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收

规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。

GBJ73-84规定的洁净度等级

等级

100

1000

10000

100000

每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数

《35*100（〈3.5〉

《35*1000（〈35〉

《35*10000（〈350〉

《35*100000（〈3500〉

每立方米（升）空气中》5μm尘粒数

《250（〈0.25〉

《2500（〈2.5〉

《25000（〈25〉

ISO 1644 国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

ISO1

ISO2

ISO3

ISO4

ISO5

ISO6

ISO7

ISO8

ISO9

等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m

3

）

0.1μm

10

100

1000

10000

100000

1000000

0.2μm

2

24

237

2365

23651

236514

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

10

102

1018

10176

101763

4

35

352

3517

35168

351676

3516757

35167572

8

83

832

8318

83176

831764

8317638

29

293

2925

29251

292511

1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦标准（.209系列）

可以参考；

2，ISO1644的ISO5相当于.209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3.5颗/升，或100颗

/ft

3

，或3530颗/m

3

）

3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；

4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对

粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用

一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm。

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空气洁净度

空气洁净度

1．空气洁净度和级别

空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度

低则空气洁净度高，含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分

洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒

子数来确定其空气洁净度等级。

洁净度标准的制定

以前有关国家都各自制定自己的标准，但基本上都是参照美国标准FS-209的各

版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类：

一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命

名，这种命名方法以美国FS-209A～E版为代表，其规定粒径为0.5μm，以空气

中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名，如标准中的100级，表示

空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名，即每立方英尺的空气中

≥0.5μm粒径的粒子数量为100个，（我们平时使用的是国际单位，即通常所指

的是每立方米的空气中所含≥0.5μm粒径的粒子数量，因为1立方米≈35.2立方

英尺，所以我们看到标准中100级对应≥0.5μm粒径的粒子数量不是100个，而

是3520个，就是这个道理）。

二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示，按指数n

命名空气洁净度的等级，这种命名方法以日本JISB9920为代表，其规定粒径为

0.1μm，以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度（采用国标单位制）10n pc/m3命名为

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